万业企业旗下嘉芯迦能中标特色工艺线项目

　　中证网讯（王珞）必联网发布的中标结果公告显示，2月28日，万业企业旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备以及钛/氮化钛沉积设备成功中标某公司特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为嘉芯半导体子公司。

　　自2022年下半年开始，嘉芯半导体研发生产的设备多次中标，包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备、二氧化硅等离子薄膜沉积设备以及铝铜金属溅射设备（PVD）等。