兴发集团:投资3亿元研发“超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得国家科学技术进步二等奖
周文天中国证券报·中证网
中证网讯(记者 周文天)1月10日,兴发集团公众号称,集团投资3亿多元、历时10年研发成功、用于芯片制造的“超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得国家科学技术进步二等奖。项目主要完成人、兴发集团股份公司副总经理、教授级高工李少平等在北京人民大会堂接受颁奖。
兴发集团称,超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液是芯片制造行业不可替代的关键电子化学品,其关键技术和核心装备被美日韩等少数化工企业掌握并长期垄断,严重制约着我国芯片产业的健康可持续发展,是亟待攻克的“卡脖子”技术。面对国家化学和电子工业重大战略需求,兴发集团作为全国精细磷化工龙头企业,从2006年初开始主动承担起这项技术攻关重任。兴发集团下属的湖北兴福电子材料有限公司与中国科学院过程工程研究所、武汉工程大学等单位联合,经过10多年持续研究攻关,自主研发出高纯黄磷与电子级磷酸制备的关键技术,打破了高超纯电子级磷酸产品的进口依赖。