先导科技集团：卷对卷磁控溅射设备出货 巩固国产高端薄膜沉积设备领先地位

中证网讯（王珞）据先导科技集团官方微信公众号11月19日消息，集团旗下江苏先导微电子科技有限公司自主研发的用于大尺寸卷对卷磁控溅射设备经过严苛的装配检验和调试，顺利通过场内工艺验收并正式发货。这充分体现了行业客户对江苏先导微电子科技有限公司的高度认可与信任，进一步巩固了公司在国产高端薄膜沉积设备领域的领先地位。

该设备将多项先进技术集于一体，主要应用于柔性显示领域。其基材宽度为1350mm，采用双工艺腔体、双镀膜鼓的方式。单个镀膜鼓可配置多达12根溅射靶管，通过独特的冷却方式有效平衡了溅射热量和基材冷却的问题；同时，配备全自动闭环张力控制系统，搭配自主研发的展平系统和张力辅助系统，能最大程度减少对薄膜和膜层的损伤，有效提升镀膜效率和维护保养效率。

江苏先导微电子科技有限公司相关负责人表示，卷对卷技术凭借在生产效率、生产成本、生产规模和产品质量等多方面的优势，对柔性显示产品的大批量生产以及全核心层沉积有着显著的促进作用。该设备顺利交货，是继柔性钙钛矿设备交货之后公司在卷对卷量产设备领域全面技术优势的又一次展示，将助力柔性高端装备领域高质量发展。